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涡旋真空泵中固体润滑技术的应用研究

由于其内部没有任何油类和密封液体,有效地杜绝了泵油的污染,从而可获得洁净的真空。然而另一方面由于缺少了油的润滑和密封作用,涡旋体啮合时仅靠间隙来密封,这样泵的性能将决定于加工精度和涡旋体之间的固体润滑性能。本文对固体润滑技术在涡旋真空泵中的应用进行了研究。